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       菲索干涉儀作為工業(yè)上應(yīng)用廣泛的表面輪廓檢測(cè)技術(shù)之一，它具有很多優(yōu)點(diǎn)，如更高的測(cè)試靈敏度和準(zhǔn)確度、非接觸式不會(huì)對(duì)被測(cè)件造成表面損傷、大量程范圍、抗干擾能力強(qiáng)、操作方便，因此在精密測(cè)量、精密加工和實(shí)時(shí)測(cè)控的諸多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

       菲索干涉儀是由法國(guó)物理學(xué)家Hippolyte Fizeau（1819~1896年，他用旋轉(zhuǎn)齒輪法測(cè)出了光速，是個(gè)用非天文學(xué)方法成功測(cè)量光速的實(shí)驗(yàn)）發(fā)明的，他是在研究以太的性質(zhì)時(shí)發(fā)明的這種光學(xué)儀器：菲索干涉儀。

       菲索干涉儀用來(lái)檢驗(yàn)加工后工件的研磨或拋光情況，如光學(xué)玻璃、精密研磨表面、卡規(guī)、精測(cè)塊規(guī)、測(cè)微器砧座等。

       菲索干涉儀是利用光學(xué)干涉測(cè)量技術(shù)，它是以光波干涉原理為基礎(chǔ)，以光的波長(zhǎng)為單位的一種計(jì)量測(cè)試方法。在利用菲索干涉儀檢測(cè)時(shí)，工件的表面必須有足夠的反射光線強(qiáng)度，以便與菲索干涉儀的作用面反射光線相干涉，否則光強(qiáng)太弱，會(huì)無(wú)法分辨。

       菲索干涉儀也稱為光學(xué)平板，它的基本結(jié)構(gòu)原理如下圖所示。

菲索干涉儀的基本結(jié)構(gòu)

       在被測(cè)面前有參考面，兩面間距非常近，以保證這兩個(gè)平面反射的光線具有相干性。作為參考的反光塊的上表面與下表面間很小的夾角，是用于保證上表面的反光不參與干涉條紋的形成。參考面與待測(cè)面的反光發(fā)生干涉后產(chǎn)生干涉條紋，由成像系統(tǒng)來(lái)接收。分析條紋的形狀就能確定待測(cè)面的表面情況是否有缺陷。

       在菲索干涉移相干涉儀中，移相誤差的存在會(huì)極大地影響測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性，為了保證移相步進(jìn)的精度，一般選用PZT壓電式移相器（PZT移相器）。

       以下為搭建的一種單色點(diǎn)光源菲索干涉儀的移相結(jié)構(gòu)，由PZT壓電移相器進(jìn)行移相步進(jìn)調(diào)整，成像系統(tǒng)進(jìn)行成像，同時(shí)在毛玻璃屏上可觀察干涉條紋情況。

       毛玻璃上方的透鏡加入前可調(diào)節(jié)光斑的重合，加入后可觀察干涉條紋情況，便于初始化設(shè)置。

菲索干涉儀中的移相結(jié)構(gòu)

       PZT壓電移相器的作用是用于調(diào)節(jié)參考面的步進(jìn)移動(dòng)，以便于采集多幅干涉圖像。

壓電移相器（PZT移相器）系統(tǒng)的工作原理

       在初始化調(diào)節(jié)設(shè)置好后，開(kāi)始測(cè)量。PZT壓電移相器控制器發(fā)送電壓給PZT壓電移相器，使之按照的步數(shù)及步進(jìn)距離移動(dòng)，當(dāng)移相器到達(dá)某既定位置時(shí)，會(huì)對(duì)圖像進(jìn)行一次采集，并存儲(chǔ)滿足移相算法要求的若干幅干涉圖，然后再由計(jì)算機(jī)根據(jù)采集到的干涉圖像進(jìn)行計(jì)算及面形求解。

精度菲索干涉儀的檢測(cè)約能到λ/20、λ/50，甚至λ/300。

芯明天P77系列壓電移相器用于菲索干涉儀

       P77系列壓電移相器具有多種尺寸及參數(shù)，中心通孔由0~260mm范圍自由選擇，也可依要求進(jìn)行定制外形及通孔尺寸、位移、承載能力等。

       P77系列壓電移相器各系列如下所示。