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P83.X一維X向壓電宏微復(fù)合臺 $nP83為標準測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷機構(gòu)相結(jié)合，通過手動調(diào)節(jié)大范圍的測微頭實現(xiàn)13mm大范圍的移動，再通過控制驅(qū)動電壓，使壓電陶瓷機構(gòu)相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置，從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)。《查看更多》

P84.X一維X軸壓電宏微復(fù)合臺： P84為標準測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷機構(gòu)相結(jié)合，通過手動調(diào)節(jié)大范圍的測微頭實現(xiàn)13mm大范圍的移動，再通過控制驅(qū)動電壓，使壓電陶瓷機構(gòu)相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置，從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)。《查看更多》

壓電平臺是采用壓電陶瓷驅(qū)動的納米定位臺，無摩擦、無空回柔性導(dǎo)向機構(gòu)，有限元分析優(yōu)化柔性鉸鏈機構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，高剛度，高負載，無磨損，免維護的特點，內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)反饋，確保了平臺具有良好的控制精度、定位精度、分辨率和穩(wěn)定性，響應(yīng)速度快，穩(wěn)定時間達毫秒量級，平臺無磁性也不受磁場干擾。XP-630，采用壓電陶瓷直驅(qū)結(jié)構(gòu)，無摩擦柔性鉸鏈機構(gòu)設(shè)計的一維壓《查看更多》