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邁克爾遜干涉儀中的壓電移相器

更新時間: 2020-06-12

作為一種高精密光學儀器,邁克爾遜干涉儀得到了非常廣闊的應用,它既可用于測量光的波長,還可用于測量氣體或液體的折射率、玻璃的厚度、劈尖的傾斜角度以及測量距離等。

邁克爾遜干涉儀的原理是將一束入射光經(jīng)過分光鏡分為兩束后,各自被對應的平面鏡反射回來,因這兩束光的頻率相同、振動方向相同且相位差恒定(即滿足干涉條件),所以能夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調(diào)節(jié)干涉臂長度以及改變介質的折射率來實現(xiàn),從而能夠形成不同的干涉圖樣。通過調(diào)整該干涉儀,可以產(chǎn)生等厚干涉條紋,也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。該原理可用于研制多種測量儀器。

下圖為一款搭建好的邁克爾遜干涉儀系統(tǒng),該系統(tǒng)中采用了芯明天P63.Z壓電納米定位臺作為移相器,移相行程為 0~6.8μm,移相的分辨率可達0.1nm,滿行程6.8μm運動范圍的響應速度為0.3ms,納米級步進掃描的速度將更快。

P63.Z壓電納米定位臺通常的使用方式為移動面朝上放置,延縱向產(chǎn)生運動位移,運動如下圖中所示。但在該系統(tǒng)中,采用的是橫向放置方式,延水平方向產(chǎn)生運動位移。

當Z向壓電運動平臺進行水平使用時,它的受力情況會發(fā)生變化,在您訂購時,請務必告知,我們會根據(jù)使用情景對內(nèi)部做相應調(diào)整,以更好適應使用環(huán)境,提高可靠性。

P66.Z納米定位臺的運動示意圖

(注:為便于觀看,運動范圍已被放大)

P63.Z壓電納米定位臺技術參數(shù)

型號:P63.Z7S

運動自由度:Z

標稱行程(0~120V):5.5μm

行程范圍(0~150V):6.8μm

傳感器類型:SGS

閉/開環(huán)分辨率:0.2/0.1nm

閉環(huán)線性度:0.4%F.S.

閉環(huán)重復定位精度:0.2%F.S.

俯仰/偏航/滾動:<5μrad

推/拉力:10/2N

運動方向剛度:1.5N/μm

空載諧振頻率:2kHz

閉/開環(huán)空載階躍時間:1.5/0.3ms

滿行程閉環(huán)空載工作頻率:達200Hz

承載:0.8kg

靜電容量:0.8μF

材質

重量:70g

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17051647888

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