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壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電元件作為驅(qū)動源與外部機構(gòu)相結(jié)合帶動鏡片實現(xiàn)精密偏轉(zhuǎn)/傾斜運動的壓電機械系統(tǒng)。芯明天壓電偏轉(zhuǎn)鏡包括壓電陶瓷驅(qū)動精密偏轉(zhuǎn)鏡以及壓電馬達驅(qū)動大行程壓電偏轉(zhuǎn)鏡。

壓電陶瓷驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡

壓電陶瓷驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計，外部機械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運動，補償量小，確保偏轉(zhuǎn)鏡具有的運動精度和超高的穩(wěn)定性，通過內(nèi)置高精度傳感器進行閉環(huán)控制，實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

主要特性：

壓電陶瓷驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡根據(jù)運動方式包括一維θx二維θx,θy三維θx,θy,Z，運動工作方式如下圖所示：

該系列高精密壓電偏轉(zhuǎn)鏡具有多種尺寸、偏轉(zhuǎn)范圍、規(guī)格型號可選，P31系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡能夠?qū)崿F(xiàn)的zui大偏轉(zhuǎn)范圍達25mrad，P33.T2S壓電偏轉(zhuǎn)鏡配套芯明天閉環(huán)壓電控制器可以實現(xiàn)0.5μrad的定位精度。

驅(qū)動控制方式：

芯明天壓電偏轉(zhuǎn)鏡可以根據(jù)用戶對負載要求、使用頻率，通信功能、開環(huán)/閉環(huán)、體積要求等選擇不同功能的控制器，也可以根據(jù)用戶特定的需求開發(fā)定制。

典型應(yīng)用：

精密壓電偏轉(zhuǎn)鏡主要應(yīng)用于光通信、光路調(diào)整、光干涉、自適應(yīng)光學(xué)等領(lǐng)域，芯明天P33系列壓電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)已經(jīng)成功應(yīng)用于衛(wèi)星激光通信實驗中，高精度的偏轉(zhuǎn)、快速跟蹤、穩(wěn)定的控制使其受到國內(nèi)外科研院所及企業(yè)的青睞。

壓電馬達驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡

壓電馬達驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡，采用壓電馬達驅(qū)動，內(nèi)部精密軸承轉(zhuǎn)動導(dǎo)向與外部柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)相結(jié)合實現(xiàn)大行程高精度精密偏轉(zhuǎn)。

主要特性： 

壓電馬達驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡為一維θx軸壓電偏轉(zhuǎn)鏡，中心通孔透光孔徑為9mm、偏轉(zhuǎn)范圍可達6°（+/-3°）、實現(xiàn)光學(xué)12°的偏轉(zhuǎn)，可以選擇不同的控制器實現(xiàn)1/64步，即zui小步進0.3μrad， 速率可達25mrad/s。

驅(qū)動控制方式：

壓電馬達驅(qū)動偏轉(zhuǎn)鏡可以選擇三種不同分辨率的控制器實現(xiàn)不同的zui小步進，主要是通過軟件進行上位機控制，zui小步進與步進速度可以設(shè)置。

典型應(yīng)用：

壓電馬達驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡已經(jīng)應(yīng)用于光學(xué)導(dǎo)軌帶動分束立方體做精密偏轉(zhuǎn)運動。