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壓電偏轉鏡是一種運動平臺產品

更新時間: 2022-06-17

  壓電偏轉鏡是基于平行運動學設計,具有共面軸及移動面。四個執(zhí)行機構為四支壓電促動器,以90°角平分放置,成對的差分控制分布。
 
  壓電偏轉鏡的命名實際由它的驅動原理及應用目的相結合而來的。“壓電”指的是它的驅動原理,即利用PZT壓電陶瓷來作為驅動源從而產生運動;而“偏轉鏡”則是它的應用目的,即用來使鏡片產生偏轉運動。
 
  但通常情況下,壓電偏轉鏡本身是不帶有鏡片的,通過粘接或鏡持夾持方式將鏡片固定于壓電偏轉鏡的移動臺面上。因為壓電偏轉鏡對光路的快速控制作用,也常被稱作快速轉向鏡。也經常被稱作為壓電傾斜鏡、壓電快反鏡、壓電反射鏡、擺鏡等。
 
  壓電偏轉鏡就是指將PZT壓電陶瓷集成于機械柔性鉸鏈,再將除運動面外的其他整個結構封裝進機械外殼,從而能夠產生偏轉運動的運動平臺產品。它將PZT壓電陶瓷的直線微米級(μm,1μm=0.001mm)的運動,轉換為機械部件的毫弧度級(mrad,17mrad=1°)偏轉運動。
 
  反射鏡片安裝于壓電偏轉鏡的運動臺面上,壓電偏轉鏡運動臺面的偏轉帶動反射鏡的偏轉運動。根據壓電偏轉鏡的運動維度,一般可分為三類,即一維θx軸偏轉運動、二維θxθy偏轉運動、三維θxθy偏轉及Z向運動。
 
  一維θx壓電偏轉鏡分為兩種結構,一種為單個壓電促動器驅動、單鉸鏈支撐型,鉸鏈確定了軸心點,并加倍了作用于壓電促動器的預緊力。該結構的優(yōu)點是結構簡單、體積小巧、性價比高。
 
  另一種為雙壓電促動器驅動型,即由兩支陶瓷促動器的推拉運動來驅動平臺臺面偏轉,這種結構的優(yōu)點是可承載更大,不受工作環(huán)境溫度變化的影響。
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