1.二維θx, θz向壓電偏擺臺特性
• θx, θz偏擺/旋轉(zhuǎn)，角度位移達±0.3mrad/軸 • zui大承載達60kg • 閉環(huán)定位精度高 • 外形堅固 • 響應(yīng)速度快
2.二維θx, θz向壓電偏擺臺外觀形狀
產(chǎn)品運動示意圖
閉環(huán)曲線
大承載、高精度、高頻率
頻率負載曲線
驅(qū)動測試實驗
N50 θx, θz二維偏擺/旋轉(zhuǎn)臺是專門為空間擾動實驗而設(shè)計的大承載偏擺系統(tǒng)，具有電容閉環(huán)幅值校正功能，可以帶60kg負載做精密偏轉(zhuǎn)，zui大行程為±0.3mrad。
N50壓電偏轉(zhuǎn)臺采用有限元分析對結(jié)構(gòu)進行優(yōu)化，具有非常高的剛度，即使其在負載的情況下仍然可以實 現(xiàn)高動態(tài)，zui大頻率可以達到500Hz。
可選擇多種傳感器類型，如電容、電感、應(yīng)變計等。該產(chǎn)品已經(jīng)成功應(yīng)用于模擬空間擾動等實驗中。
N50大負載θx, θz二維偏擺/旋轉(zhuǎn)臺需要三通道控制器進行驅(qū)動控 制，根據(jù)所需使用頻率配套不同功率的壓電控制器。如100~200Hz 使用頻率，我們推薦配套E00/E01系列控制器選擇E05驅(qū)動模塊。
3.二維θx, θz向壓電偏擺臺應(yīng)用
• 光束掃描 • 圖像處理/穩(wěn)定 • 光學、激光掃描、通信、光線偏轉(zhuǎn)、干涉/計量 • 空間擾動模擬系統(tǒng) • 光路調(diào)整 • 掩模與晶片位置調(diào)整 • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結(jié)構(gòu)分析
可定制
N50壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺參數(shù)可接受定制。
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