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   N12壓電掃描臺為1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心方形通孔，內(nèi)部采用無摩擦的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu) 化結(jié)構(gòu)，具有超高的導(dǎo)向精度、高剛性、大負(fù)載、無磨損等特點，平臺內(nèi)可選擇配置高性能傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋，實現(xiàn)滿行程0.04%的 重復(fù)定位精度。

N12壓電掃描臺典型應(yīng)用

 掃描顯微

• 共焦顯微

• 晶圓定位

• 表面測量

• 圖像處理與穩(wěn)定

• 半導(dǎo)體測試

N12壓電掃描臺特性

• zui大位移110μm

• zui大承載0.7kg

• 臺體中心方形通孔

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 開環(huán)閉環(huán)可選

1~3維掃描臺

   N12系列壓電掃描臺包含X、Z、XY、XZ、XYZ五種規(guī)格型號。

閉環(huán)傳感定位精度高

    N12系列壓電掃描臺配置高分辨率傳感器，對位置實時檢測 并反饋到壓電控制器，控制器通過PID算法調(diào)整電壓修正位移，從 而實現(xiàn)高精度定位。

    N12.XYZ壓電掃描臺配套芯明天E72系列模塊化控制器應(yīng)用 于光學(xué)顯微成像，實現(xiàn)XYZ軸精密掃描。

小體積、大位移、中心通孔

    N12系列納米定位臺體積非常小巧，位移可達(dá)110μm。 *的平行運動學(xué)設(shè)計原理，使得平臺可以實現(xiàn)XYZ軸高速 精密運動。這款產(chǎn)品的應(yīng)用非常廣泛，從光學(xué)研究到工業(yè)化 OEM系統(tǒng)等。

    該系列壓電掃描臺的通光孔為45×45mm。高剛度以及 優(yōu)異的直線性使其成為光學(xué)、激光領(lǐng)域納米級精密定位應(yīng)用。

N12壓電掃描臺技術(shù)參數(shù)：

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。