P76系列壓電物鏡定位器為大負(fù)載壓電物鏡定位器，負(fù)載能力可達(dá)500g，Z軸直線運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)110μm，采用柔性鉸鏈設(shè)計(jì)機(jī)構(gòu)，無(wú) 摩擦，直線性好，閉環(huán)型號(hào)定位精度高。分離式螺紋適配器設(shè)計(jì)，可適配多種型號(hào)的顯微鏡。 典型應(yīng)用 • 三維成像 • 干涉/計(jì)量 • 自動(dòng)聚焦系統(tǒng) • 共焦顯微 • 晶圓切割 • 半導(dǎo)體測(cè)試 螺紋適配器便于安裝
P76物鏡定位器與物鏡之間通過(guò)適配器連接，將物鏡快速鎖定在 預(yù)期位置 。 多種螺紋 牙可選 ，如 M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于與顯 微鏡集成安裝。 大負(fù)載、高頻響、高分辨率
P76納米掃描聚焦系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是為了大負(fù)載、大孔徑 物鏡在現(xiàn)代高分辨率顯微應(yīng)用中達(dá)到快的階躍時(shí)間。它 極其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)提供了非?？斓姆€(wěn)定時(shí)間及掃描頻率，即 使帶載幾百克的物鏡時(shí)。多個(gè)壓電驅(qū)動(dòng)器的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱排列 及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設(shè)計(jì)，使它具有較高的剛度，同 時(shí)保證了優(yōu)異的導(dǎo)向精度和動(dòng)態(tài)性。
P76壓電物鏡定位器的大通光孔徑為22mm，大 負(fù)載為500g，它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應(yīng)用中常用 的大視場(chǎng)物鏡。P76壓電物鏡定位器可匹配蔡司、尼康、 奧林巴斯、徠卡等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。它也可以通過(guò)適配器與 手動(dòng)調(diào)節(jié)臺(tái)相結(jié)合使用。 特性： • 位移行程110μm • 大負(fù)載500g • 毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間 • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 聚焦穩(wěn)定性好 技術(shù)參數(shù)： 型號(hào) | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | P76.Z100S P76.Z100K | 單位 | 運(yùn)動(dòng)自由度 | Z | | 標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 80 | μm±20% | 大行程范圍（-20~150V) | 110 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | | 閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 5/2.5 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.05/- | %F.S. | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.02/- | %F.S. | 推/拉力 | 70/10 | N | 運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 0.8 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 800 | Hz±20% | 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 5/2 | ms±20% | 閉環(huán)空載工作頻率 | 10%行程 | 400 | Hz±20% | 行程 | 50 | 大承載 | 0.5 | kg | 靜電容量 | 7.2 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋼、鋁 | | 重量 | 520 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。 |
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